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每顆芯片誕生之初,都要經(jīng)過光刻機(jī)的雕刻,精度要達(dá)到頭發(fā)絲的千分之一,如今,能夠生產(chǎn)光刻機(jī)的國(guó)家只有四個(gè),成為了其中的一員,實(shí)現(xiàn)了從無到有的突破。
光刻機(jī)又被稱為:掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)、曝光系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)等。常用的光刻機(jī)是掩模對(duì)準(zhǔn)光刻,所以它被稱為掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。它指的是通過將硅晶片表面上的膠整平,然后將掩模上的圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠,將器件或電路結(jié)構(gòu)暫時(shí)“復(fù)制”到硅晶片上的過程。它不是簡(jiǎn)單的激光器,但它的曝光系統(tǒng)基本上使用的是復(fù)雜的紫外光源。
光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一,根據(jù)用途可分為幾類:光刻機(jī)生產(chǎn)芯片;有光刻機(jī)包裝;還有一款投影光刻機(jī)用在LED制造領(lǐng)域。
標(biāo)簽:深圳激光刻碼機(jī)
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