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自主研發(fā)的刻蝕機有哪些區(qū)別?

返回列表 來源: 發(fā)布日期:2021-08-06

眾所周知,我國在半導體設備以及半導體原材料與國外存在很大的差距,尤其是光刻機,一個極其講究高、精、尖技術為一體的生產(chǎn)設備經(jīng)過幾十年的發(fā)展依然無法取得重大的突破。長期以來,我國光刻技術一直是半導體設備行業(yè)中的一塊短板,目前量產(chǎn)的國產(chǎn)光刻機是90納米,計劃2022年量產(chǎn)22納米。

  如果把在硅晶體上的施工比成木匠活的話,光刻機的作用相當于木匠在木料上用墨斗劃線,刻蝕機的作用相當于木匠在木料上用鋸子、鑿子、斧子、刨子等施工。

  (1)難易度:光刻機難度大,刻蝕機難度小

  (2)原理:光刻機把圖案印上去,刻蝕機根據(jù)印上去的圖案刻蝕掉有圖案/無圖的部分,留下剩余的部分。

  (3)工藝操作不同

  標簽:深圳激光刻碼機廠家

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