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什么是光刻機(jī)和刻蝕機(jī)

返回列表 來源: 發(fā)布日期:2021-08-23

半導(dǎo)體設(shè)備按照功能劃分,有IC制造、IC封裝、IC測(cè)試、硅片加工等,其中IC制造所占比重最多,為81%,測(cè)試設(shè)備占9%,封裝設(shè)備占6%,其他設(shè)備大約占4%。

  而IC制造,最為主要的兩個(gè)設(shè)備是光刻機(jī)和刻蝕機(jī)。

  光刻機(jī)簡單說以光為刀,將設(shè)計(jì)好的電路圖投射到硅片之上,而刻蝕機(jī)則是選擇性的去除硅片上不需要的材料。

  在半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈上,大陸的產(chǎn)業(yè)鏈體系已經(jīng)逐步完善,具備了國產(chǎn)替代能力。

  在刻蝕機(jī)設(shè)備上,大陸處于世界主流水準(zhǔn),北方華創(chuàng)和中微電子國內(nèi)份額合計(jì)為20%。而且在其他設(shè)備上,比如說測(cè)試設(shè)備、清洗設(shè)備、過程控制等也正在成長。

  我們最新的技術(shù)是別人2000年的技術(shù),很殘酷,但的確是事實(shí)。而且,最新具備7nm生產(chǎn)工藝的EUV極紫外光光刻機(jī)我們想盡了一切辦法也沒買到。

  至于原因,可以從1997年說起。

  那一年,光刻機(jī)的光源波長被卡死在193nm,成為了擺在全產(chǎn)業(yè)面前的一道難關(guān)。英特爾為了突破這道難關(guān),發(fā)起了一個(gè)叫做EUV LLC的聯(lián)盟。聯(lián)盟之內(nèi)的人物有美國能源部以及能源部的三個(gè)下屬單位:勞倫斯利弗莫爾國家實(shí)驗(yàn)室、桑迪亞國家實(shí)驗(yàn)室和勞倫斯伯克利實(shí)驗(yàn)室,外加摩托羅拉、IBM等等美國頂尖的科技企業(yè)。

  特別是能源部的三個(gè)下屬單位,之前的研究成果覆蓋了半導(dǎo)體、物理、制造業(yè)等等各行各業(yè)。國家支持,資金不缺,科技大佬,技術(shù)云集,這個(gè)聯(lián)盟能夠突破193nm的光源波長似乎是板上釘釘。

  但是這個(gè)聯(lián)盟還缺了最重要的企業(yè)——光刻機(jī)企業(yè),美國光刻機(jī)企業(yè)SVG、Ultratech早在80年代就在與尼康的競爭中隕落,擺在美國面前的就只有兩家光刻機(jī)企業(yè),來自日本的尼康與來自荷蘭的ASML。

  美國怎么選擇,按照今天美日關(guān)系來看,美國毫無疑問會(huì)選擇尼康,不過那時(shí)候日本在半導(dǎo)體領(lǐng)域是美國的頭號(hào)競爭對(duì)手,甚至還壓住了美國的風(fēng)頭,前面所說的美國光刻機(jī)企業(yè)也就是被尼康所打敗。

  理所當(dāng)然,美國選擇了荷蘭,但有前提條件,ASML必須同意在美國建立一所工廠和一個(gè)研發(fā)中心,以此滿足所有美國本土的產(chǎn)能需求。另外,還保證55%的零部件均從美國供應(yīng)商處采購,并接受定期審查。

  標(biāo)簽:深圳激光刻碼機(jī)廠家

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