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簡(jiǎn)單的了解一下光刻機(jī)工作的技術(shù)原理

返回列表 來(lái)源: 發(fā)布日期:2021-10-13

來(lái)簡(jiǎn)單的了解一下光刻機(jī)工作的技術(shù)原理。當(dāng)我們制作芯片的時(shí)候,電路圖經(jīng)過(guò)光刻機(jī)投放至底片(涂滿光刻膠的硅片),光刻機(jī)不斷蝕刻掉光刻膠,露出硅面之后做化學(xué)處理,不斷反復(fù)的蝕刻,直到芯片制作完成。

  這里面有兩點(diǎn)要求較高,一個(gè)是光刻機(jī)的中心鏡頭,一個(gè)是光刻機(jī)的光源。

  大家應(yīng)該知道,ASML公司光刻機(jī)的鏡頭來(lái)自德國(guó)蔡司,光源由美國(guó)CYMER公司獨(dú)家提供。光刻機(jī)的中心鏡頭對(duì)于鏡頭要求較高,需要高純度透光以及高拋光,能夠達(dá)到這一標(biāo)準(zhǔn)的公司并不多(光刻機(jī)工藝制程越高,要求也就越高)。

  鏡頭的打磨對(duì)于匠人的技術(shù)要求等級(jí)較高,并非是工業(yè)化能夠解決的問(wèn)題,需要十幾年甚至是上百年的技術(shù)沉淀。光刻機(jī)光刻機(jī),對(duì)于光源的要求更是重中之重,需要體積小、功率高、穩(wěn)定性強(qiáng)的光源(這也是制約我國(guó)光刻機(jī)向高端進(jìn)軍繼續(xù)解決的難題)。

  標(biāo)簽:深圳激光刻碼機(jī)

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本文標(biāo)簽: 深圳激光刻碼機(jī)

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