隨著現(xiàn)代科技的迅猛發(fā)展，如今人類已經(jīng)可以做到對(duì)光的有效控制，甚至可以把光的足跡留下，使之呈現(xiàn)在微觀視野里。例如被稱作信息時(shí)代制造的光刻機(jī)，便是人與光較量之下的智慧結(jié)晶。

　　光刻機(jī)里有兩個(gè)同步運(yùn)動(dòng)的工件臺(tái)，一個(gè)載底片，一個(gè)載膠片。兩者需始終同步，誤差在2納米以下。兩個(gè)工作臺(tái)由靜到動(dòng)，加速度跟導(dǎo)彈發(fā)射差不多。接下來(lái)小編帶你了解光刻機(jī)的主要結(jié)構(gòu)特點(diǎn)。

　　1.采用三爪和球氣浮同時(shí)找平，無(wú)論大片、小片調(diào)平精度均高；

　　2.具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；

　　3.自動(dòng)分離對(duì)準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達(dá)500μm

　　4.高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過(guò)程，并提供USB輸出；既滿足高精度對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲(chǔ)；

　　5.電機(jī)機(jī)構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好；

　　6.曝光波長(zhǎng)采用純凈365nm，冷光照明(曝光面能量15mW/cm，溫度小于30度)；

　　7.對(duì)準(zhǔn)完成，自動(dòng)消除曝光間隙，無(wú)橫向漂移且可通過(guò)監(jiān)視器觀察；

　　8.快門可以單獨(dú)開啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動(dòng)曝光(設(shè)定范0.1s-9999.9s)；

　　9.采用直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；

　　10.汞燈具有高亮度和“待機(jī)”兩種方式，即曝光時(shí)采用高亮度照明，而不曝光時(shí)采用低亮度的“待機(jī)”，從而延長(zhǎng)了汞燈壽命；

　　11.光刻機(jī)外形美觀精致，性能非?？煽?；

　　12.上下片、翻版十分方便，自動(dòng)化程度很高，操作簡(jiǎn)便。

　　標(biāo)簽：深圳激光刻碼機(jī)