對準(zhǔn)系統(tǒng)另外一個技術(shù)難題就是對準(zhǔn)顯微鏡。為了增強(qiáng)顯微鏡的視場，許多高端的光刻機(jī)，采用了LED照明。

　　對準(zhǔn)系統(tǒng)共有兩套，具備調(diào)焦功能。主要就是由雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體、目鏡和物鏡各1對（光刻機(jī)通常會提供不同放大倍率的目鏡和物鏡供用戶組合使用）。CCD對準(zhǔn)系統(tǒng)作用是將掩模和樣片的對準(zhǔn)標(biāo)記放大并成像于監(jiān)視器上。工件臺顧名思義就是放工件的平臺，光刻機(jī)的工藝主要的工件就是掩模和基片。

　　工件臺為光刻機(jī)的一個關(guān)鍵，由掩模樣片整體運(yùn)動臺（XY）、掩模樣片相對運(yùn)動臺（XY）、轉(zhuǎn)動臺、樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)、樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)、承片臺、掩模夾、抽拉掩模臺組成。其中，樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)包括球座和半球。調(diào)平過程中首先對球座和半球通上壓力空氣，再通過調(diào)焦手輪，使球座、半球、樣片向上運(yùn)動，使樣片與掩模相靠而找平樣片，然后對二位三通電磁閥將球座和半球切換為真空進(jìn)行鎖緊而保持調(diào)平狀態(tài)。

　　樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)由調(diào)焦手輪、杠桿機(jī)構(gòu)和上升直線導(dǎo)軌等組成，調(diào)平上升過程初步調(diào)焦，調(diào)平完成鎖緊球氣浮后，樣片和掩模之間會產(chǎn)生一定的間隙，因此必須進(jìn)行微調(diào)焦。另一方面，調(diào)平完成進(jìn)行對準(zhǔn)，必須分離一定的對準(zhǔn)間隙，也需要進(jìn)行微調(diào)焦。

　　抽拉掩模臺主要用于快速上下片，由燕尾導(dǎo)軌、定位擋塊和鎖緊手輪組成。承片臺和掩模夾是根據(jù)不同的樣片和掩模尺寸而進(jìn)行設(shè)計(jì)的。

　　對光刻機(jī)的對準(zhǔn)系統(tǒng)的探索是有價值的，因?yàn)樘剿髁瞬煌募夹g(shù)路線，可以將這套系統(tǒng)，用到光刻機(jī)之外的領(lǐng)域，所以也許能在其他的領(lǐng)域帶來意想不到的價值。

　　標(biāo)簽：深圳激光刻碼機(jī)